详细信息
18B研磨抛光机主要适用6英寸(含)以下硅片双面精密研磨加工,同时适用于光学玻璃,石英晶片,宝石片,铌酸锂,陶瓷片及其他硬脆材料的双面研磨加工或抛光。
主要特点:
1.进口变频器配合变频电机拖动,实现了软启动,软停止,调速稳定,冲击小。
2.采用二电机同步拖动,可选择游星轮的变速范围更广,能适用不同的研磨材料及研磨工艺的要求。
3.单独电机抬升内齿圈,并在总行范围内随意停留,满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。通过调节太阳轮座上的三组不同的厚度的不锈钢片改变太阳轮高度,调整方法简便。
4.采用国内先进的防腐技术对齿圈座的下磨盘座进行处理,大大提高了其耐蚀性,继而也提高并能长期保证底座安装精度。
5.电气系统采用可靠性高的PLC实现。气动系统全部选用高品质的知名品牌元件,主气缸为精密低摩擦力气缸,压力调整采用高动态特性的进口电气比例阀元件。
6.压力调整采用电气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制,其静态调整精度<2Kg,动态压力波动<30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工稳定性,进而确保提高元件加工精度及合格率。
7.人机界面(HMI)显示与PLC主控制器结合,一方面显示运行参数,另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数,主操作由普通键钮完成。
8.采用自动润滑装置,用户可根据自己的使用情况,设定自动润滑时间,使机器的各相对运动表面,齿轮啮合部位得到充分润滑,大大提高了整机的使用寿命。
9.研磨机配置了高精度的测厚装置,工件加工的动态情况通过HMI随时可见。
10.可根据用户的加工工艺要求,选装抛光液温度调节装置(单制或双制均可)。
磨盘转速: 0~60rpm
游行轮参数:公制M=3,Z=154,a=20°
游行轮数量:5个
最小研磨厚度:5/Φ200mm,0.4/Φ150mm
最大可控研磨厚度:20mm(可根据要求特殊定制)
最大研磨直径:Φ400mm
主电机:15KW4级三相AC380V
太阳轮电机:1.5KW4级三相AC380V
内齿圈电机:1.5KW4级三相AC380V
气源:0.5~0.7Mpa
外型尺寸:2500×1650×3000mm
机器重量:~7000kg
砂泵电机(带搅拌):4KWAC380V
主机精度
下研磨盘端面跳动:0.08mm
淹没面平面度:0.02mm
太阳轮径向跳动:0.20mm
内齿圈径向跳动:0.25mm
加工精度(四个修正轮修研后)
一致性:0.008mm
平面度:0.005m
平行度:0.006mm
加工能力
单片承片量:Φ1704片,Φ2002片
整盘承片量:Φ17020片,Φ20010片