详细信息
莫氏硬度:符合 | 密度:符合(g/cm3) | 厚度:符合(mm) |
透光率:符合 | 产地:山东烟台 | 纯度:符合 |
耐热性:符合 | 品牌:正达真空机械 | 熔点:符合 |
深加工类型:调光玻璃 | 颜色:绿玻 |
CDA450—600J系列小型真空溅射仪
CDA450—600J系列小型真空溅射仪采用箱式结构,操作、维护方便快速, 效率高,适用于在手机面(玻璃、塑胶)、数码产品视窗镜片、手表玻璃、石英晶体、小型光学镜片、塑胶产品及耳机振膜等声、光、电元器件,五金表面镀制各种金属膜、硬质膜、光学膜等膜层及其它实验用途。
部分产品技术参数如下:
型号规格 | CDA450————CDA600J |
真空室直径 | Ф450mm————600mm |
真空室高度 | 500mm————800mm |
真空泵组 | 扩散泵,罗茨泵,旋片泵 |
真空测量 | 多路测量复合真空计 范围 105---10-5 Pa |
控制方式 | 触摸手动或全自动 |
配气系统 | 高灵敏度MFC,多路独立控制,气管室体内部特殊 设计布置 |
加热系统 | PID智能控温,温度均匀 |
转架形式 | 球帽式,行星式,立式,平面水冷任选无级连续可调 |
极限真空 | 1×10-3 Pa |
镀膜方式 | 电阻蒸发,电子束蒸发,多靶磁控,电弧任选 |
离子轰击 | 选装 |
膜厚系统 | 光学膜厚监控系统或石英晶体膜厚仪 |
冷却系统 | 压力流量同步测量控制 |
功率消耗 | 20KW———160KW |
可根据镀膜的种类及工作量的大小选择不同型号的机型,也可根据镀膜过程的实际要求由我方工程技术人员协助设计特殊型号的真空镀膜设备。